7納米光刻機有救了!中芯國際的EUV 7納米光刻機明年交付!

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日經新聞亞洲版今天報導稱,中芯國際(SMIC)已經向 ASML 公司訂購了一台 EUV 光刻機,單價 1.2 億美元,預計在 2019 年初交付。


看科技新聞的都知道晶片製造的難度之大,可以說難於上青天!而晶片製造最要最核心的設備就是光刻機和刻蝕機。然而光刻機又是晶片製造的重中之重。目前先進光刻機製造設備依然掌握在荷蘭ASML手裡。而荷蘭ASML的光刻機10納米已經非常成熟,7納米晶片製造工藝設備已經交付使用,5納米光刻機已經研製成功。


同時,很多人疑問,中國公司能買先進的光刻機了?因為網上一直有傳聞稱中國公司因為瓦森那協定的關係一直被禁止採購先進光刻機,而只能買到低端落後的光刻機。對於這個問題,日經新聞報導的中芯國際採購荷蘭EUV光刻機其實也不是什麼新聞了。結合此前台媒電子時報採訪過中 ASML 中國區總經理金泳璇,金泳璇稱荷蘭ASML光刻機並沒有禁運問題,該公司對所有客戶都一視同仁,不存在有錢買不到的問題。​




在刻蝕機方面,中微半導體刻蝕設備已核准了10到7納米,並且實現了小批量重複訂貨。正在核准5納米刻蝕。中微半導體是唯一進入台積電7nm製程蝕刻設備的大陸本土設備商。據悉,中微與台積電在28nm製程時便已開始合作,並一直延續到10nm製程,以及現在的7nm製程。未來,中微也將與台積電跨入下一世代5nm合作。此外,中微也將與聯電展開14nm工藝製程的合作。




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