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國產5nm蝕刻機已獲台積電認可

邀請函集成電路產學研技術論壇來源:快科技根據台積電的工藝路線圖,2020年Q3季度就要試產5nm工藝了,這一代工藝會全面應用EUV光刻技術。除了光刻機之外,蝕刻機也是半導體工藝中不可缺少的一步,...